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活力中国调研行丨突破“卡脖子”问题的电子显微镜

2026-08-07 09:15 来源:经济日报-中国经济网
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(责任编辑:王茂林)
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活力中国调研行丨突破“卡脖子”问题的电子显微镜

2026年08月07日 09:15 来源:经济日报-中国经济网
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月球土壤放大一万倍是什么样子?半导体芯片放大一万倍是什么样子?陨石微粒放大一万倍是什么样子?纳米级物质的放大成像,超出了传统光学显微镜的工作范围,需要借助大型电子显微镜。

8月6日,记者来到位于安徽省合肥市的国镜仪器科技有限公司(简称“国镜仪器”),见到了该公司研发推出的国内首个台式冷场扫描电子显微镜,以及借助这台产品,各种微小物质被放大千、万倍后的样子。

“这台电子显微镜是2024年10月发布的,填补了国内领域空白,解决了’卡脖子’问题。”国镜仪器总经理方小伟告诉记者,公司现在正在筹备电子束量检测装备开发工作,当前国内晶圆产线所需该型装备为海外100%垄断。国镜仪器已完成了核心筒镜部分需求论证并启动开发,预计2026年底实现核心部件环节技术突破。(经济日报记者 李哲 张烁)

(责任编辑:王茂林)